干式真空泵的分类

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　　干式真空泵在泵腔内不使用任何油类和液体，也可称为无油真空泵。能直接向大气排气，可在大气压到0．1pa范围内工作。
　　干式真空泵种类很多，按工作原理可分为两类：
　　1.容积式干式真空泵，如多级罗茨泵、爪式泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。极限压力一般为0．1～10pa，抽速0．01～0．04m³/s。
　　2.动量传递式干式真空泵，如涡轮式干泵。极限压力可到l0-2pa，抽速0．02～0．15m³/s。
　　干式真空泵和油封式机械泵相比，达到同样的极限压力，残余气体成分全然不同。油封泵的残气中碳氢化合物气体为主要成分，而干泵的残气为空气的组成成分。
 

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