

低温真空泵是利用低温抽气的方法获得和维持洁净无油的高真空及超高真空的设备。随着微电子技术、半导体工业和空间模拟技术等现代科技和工业的发展,对高洁净度的无污染工作环境的要求越加迫切。电子工业和真空镀膜工业,尤其是半导体微电子技术、半导体和集成电路工艺技术要求能获得无油的真空环境。
低温冷凝真空泵的工作原理就是当气体分子入射到温度足够低的固体表面时,会被冷凝吸附于该低温表面,以致蒸气压力降得很低,从而获得高真空(10-7~10-11 pa)。
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