有阀机械式微泵的工作原理

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　　有阀机械式微泵脱胎于宏观机械泵，并保留了宏观泵的一些元器件。这种泵大多属于位移泵，而位移主要是通过膜片的往复运动来实现的。流体从左边微阀进入，从右边微阀排出：这种微泵存在很多影响泵压的因素。例如，泵室中除膜片往复运动时产生的有效行程容积可以泵送流体之外，还存在一些无用的容积,如在压缩终了时存在的死隙。死隙越大：泵的效率也越低。在微泵中，这种死隙在总容积中所占的比例相对要比宏观泵中大得多。进出口阀的正、反流比也是造成微泵效率低的一个重要因素。如果泵压的是一种饱和状态的液体：那么还可能出现气泡。气泡的表面张力足以造成微泵无法正常工作。气泡的产生还会引起微泵的气蚀现 象，损坏泵体。
　　有阀机械微泵虽然其结构比较复杂，但它易于采用层叠组合方法，对微泵的制造十分有利，因此仍然得到了广泛应用。和微阀的驱 动相似，微泵也有类似的驱动形式。这些驱动方式与上节各种微阀的不同组合，就可以获得各种形式的微泵。
 

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