不同驱动方式薄膜泵的工作原理

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　　静电驱动薄膜泵

　　静电驱动器是应用两个平行板间的静电吸引力来工作的。通常情况下，两个平行板一个固定不动，另一个可以移动。由静电驱动器驱动的薄膜泵的工作原理。当电压被加在驱动电极上时，引起薄膜向上变形，进口阀打开，;流体进入泵腔;电压断开时，薄膜由自身的弹性力回复到原来位置，泵腔内的压力推动出口阀打开，是腔内流体流出。

　　静电驱动的薄膜泵的优点是如果截止阀的响应速度比较快，可以在很高频率下工作，缺点是需要较大的驱动电压来提供驱动力，多数情况下驱动电压值在150V以上。

　　热驱动薄膜泵

　　热驱动薄膜泵是通过加热驱动器腔内的流体或气体膨胀以使薄膜片发生变形达到驱动的目的。作为驱动用的流体或气体或泵腔内的流体通过薄膜相互隔离。热驱动泵的最大优点是在相对比较低的工作电压下就能够获得较大的腔体容积变化量，而且在加工制造商也比较容易实现。其缺点是加热驱动用的流体或气体需要消耗好高的能量，另外流体加热和冷却的过程也需要一定的时间，因此工作频率不是很高，一般都在30Hz以下。

　　电磁驱动薄膜泵

　　电磁驱动的薄膜泵是通过电镀了的铜线缠绕在铁合金的磁芯上作为电磁驱动器，一个导磁合金板作为薄膜片，当电流加载在铜线制成的缠绕线圈时电磁驱动器就产生吸引力，使薄膜片产生变形，泵腔体容积变大，进口阀打开液体进入腔内，当电流停止时，薄膜片靠自身弹性恢复到原来位置推动流体流出腔内。电磁驱动的最大优点也是电压比较低，但缺点也痛热驱动一样，驱动需要消耗较大的能量。

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