干式真空泵的应用领域

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　　由高真空油扩散泵和作为前级泵的油封式机械泵组成的排气系统，在各工业部门得到了普遍应用。在这样的真空系统中不可避免地要发生油蒸气的返流、使真空容器遭到污染，而且在真空容器中进行作业所用的工艺气体会在油中溶解，工艺过程反应生成的颗粒状副产物也会在油中积聚，使油本身变质劣化。
　　近来，半导体芯片制造产业发展提出的要求，作为高真空泵不能有油蒸气存在，因此无油的涡轮分子泵、复合分子泵在该领域得到了广泛的应用。
　　干式真空泵也称为无油真空泵。在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体。排气口与大气相通，能连续向大气中排气。能产生10 ^-2 pa压力范围的真空。
 

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